简介： 本发明公开了一种真空干燥条件的确定方法和真空干燥装置。真空干燥装置包括：抽真空机构、加热机构、真空干燥腔、形貌检测组件和控制机构。采用该真空干燥装置对OLED器件需要干燥的功能膜层进行干燥，且在干燥过程中可以对功能膜层的形貌进行实时扫描检测，实现对功能膜层的形貌变化的实时监控；并可以通过对预设真空干燥条件下功能膜层形貌的实时平整度信号和基板形貌的初始平整度信号进行比较，得到适合所述功能膜层干燥的真空干燥条件。进一步地，在该真空干燥条件下对待干燥的功能膜层进行干燥，能够提高功能层成膜的均匀性，达到提高显示器件性能的效果。