简介： 本发明公开了一种微观单元磨蚀性表达方法测量装置以及检测方法，涉及材料检测技术领域。该微观单元磨蚀性表达方法测量装置包括基座、位置调节组件、工件移动台以及压头总成。位置调节组件设置于基座，压头总成通过连接件与位置调节组件连接，工件移动台可移动的设置于基座，且与压头总成对应。该微观单元磨蚀性表达方法测量装置结构简单，使用方便，精度高，能够避免压头模组之间的电磁干扰，又可以实现nm级的精确定位，能够快速准确的获得样品的磨蚀性能。