简介： 本发明涉及一套低温激光扫描双聚焦显微系统的设计和制作。该设计和制作包括五个主要部分：I外场输入；II低温致冷腔；III光子收集；IV光谱/单光子检测；V系统自动控制。系统主要技术性能指标包括：①真空极限荧光收集率；②振幅≤10纳米；③平移精度≤10纳米；④氦气闭循环制冷；⑤最低温度4K，稳定性≤0.01K；⑥多外场同步激发。⑦～10纳米分辨率；⑧电学/光学测量；⑨外光路可扩展性。本发明的优点在于该套系统从光子收集率、三维平移精度、抗振动度、以及扩展性应用上都能达到同类国际顶级水平。能够为量子点、半导体材料、微生物单分子等的量子光学、调控、光电和电学低温/常温测试等提供一套高效高精度低温显微测试平台。