一种高性能压电传感器元件及制备工艺
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一种高性能压电传感器元件及制备工艺
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简介: 本发明公开了一种高性能压电传感器元件,包括以下重量分数的组分:40%‑50%的Bi2O3、25%‑35%的TiO2、6%‑10%的BaCO3、6%‑9%的Na2CO3、4%‑6.5%的SrCO3。本发明可获得压电系数d33为150‑190pC/N、居里温度为300‑450℃的多层结构,解决了传统钛酸钡压电元件及铋层状压电元件不能同时具备好的耐热性及强的电性。
本发明公开了一种高性能压电传感器元件,包括以下重量分数的组分:40%‑50%的Bi2O3、25%‑35%的TiO2、6%‑10%的BaCO3、6%‑9%的Na2CO3、4%‑6.5%的SrCO3。本发明可获得压电系数d33为150‑190pC/N、居里温度为300‑450℃的多层结构,解决了传统钛酸钡压电元件及铋层状压电元件不能同时具备好的耐热性及强的电性。
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标签:物理检测
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