简介： 本实用新型公开一种四探针检测装置，包括：工作台；测试机架，测试机架设置在工作台上；伸缩液压缸，伸缩液压缸安装在测试机架上；辅助架，辅助架安装在伸缩液压缸的输出端，且辅助架上安装有测试头；测试盘，测试盘设置在测试机架的底座上，本实用新型解决了硅片的电学性能检测不方便的技术问题。