简介： 本发明涉及半导体器件性能测试领域，具体涉及一种用于测试热电发电芯片性能的装置和方法。该装置包括：气氛环境控制模块、温度环境控制模块、电信号控制及测试模块和自动化测试软件。气氛环境控制模块为待测样品营造不同气氛环境的测试环境，具体包括真空、惰性气体环境、空气、低压环境；温度环境控制模块为待测样品提供热电发电所需的温差环境；电信号控制及测试模块为待测样品提供外部的负载电路并检测电路电压电流信号。自动化测试软件与气氛环境控制模块、温度环境控制模块和电信号控制及测试模块分别相连，可以集中控制为待测样品提供不同的测试气氛、温差和负载电路环境，并检测获取数据。该发明可以实现对热电发电芯片性能的多个参数进行测试计算，同时通过更换温度环境控制模块的加热器和散热器组件，实现不同温差环境下芯片的发电性能检测，模仿产品在实际应用中的场景，对促进热电发电芯片的研究具有促进作用。