简介： 本发明涉及一种基于微悬臂阵列传感技术的微纳光控致动器的制备及检测方法。包含以下三个步骤：利用毛细管将光响应材料涂覆到微悬臂梁阵列上，其中第一根悬臂梁为对照组，第二根至第八根微悬臂梁修饰有不同浓度的光响应材料；通过紫外光和可见光光源对光响应材料的交替照射，使其发生光致异构化，导致微悬臂梁发生弯曲，实现光控致动器的制备；通过激光照射在微悬臂梁阵列自由端上，反射的光线在光电位置敏感探测器上形成光斑，微悬臂梁的弯曲会导致光斑发生位移，通过对光斑的位移检测实现对微梁表面应力的检测。充分利用微悬臂梁的微米级尺寸、实时、可以痕量检测应力等优点，结合光响应材料光致异构特点，实现微纳光控致动器的制备及性能检测。