简介： 本发明公开了一种梯度高硅钢的制备工艺，将锰、铌、钒等微量合金元素、纯度金属硅和纯铁按比例放入高频真空感应加热炉中，抽真空浇铸成FeSi合金锭，然后加工成阴极靶材，备用；将上述阴极靶材放置于镀膜室，氩气作为溅射气体进行阴极离子镀；使表层硅含量达到6.5wt%左右；再退火、涂层，并进行磁性能检测。本发明通过利用改进硅钢成分和多弧离子镀膜制备技术来制备梯度高硅钢薄板，通过阴极电弧放电在靶材表面附近产生的等离子体，改善反应离子镀膜质量。使得表层硅含量6.5%，内部呈梯度分布，按一定的梯度逐一递减，电阻率高，磁导率高，磁通集中在表面，涡流也集中在表面，损耗小，内部硅含量低于6.5%，总的损耗低的6.5%硅钢。