简介： 一种高频超声倒装键合换能系统的制造方法,本发明选择1-3新型复合的高性能压电陶瓷材料,选择钛合金材料为传能部件;用一维弹波传递理论对换能系统压电陶瓷部分与传能部分独立设计,然后对换能系统进行验证,获得换能系统的频率分布、振动模态、以及相应的振型;再进行加工与装配和性能检测。采用本发明高频超声倒装键合换能系统,能缩短键合时间,提高生产效率;增加了键合强度,从原低频键合的15GF/BUMP上升到25GF/BUMP;减少键合点的孔洞、空穴等键合缺陷。