简介： 本发明公开了集成电路制造领域的一种静电卡盘基本性能检测装置及其检测方法。本发明提供了一种能够准确测量静电卡盘静电吸附力、晶圆脱附时间和晶圆表面温度等技术指标的装置和方法；其中，装置由驱动装置、传动装置、拉力传感器、温度测量装置、静电卡盘、真空腔室、真空获得装置和数据采集系统组成；所述驱动装置输出直线力，克服晶圆与静电卡盘之间的静摩擦力拉动晶圆，利用摩擦学原理换算得到静电力大小和晶圆脱附时间；通过红外测温仪实时采集和读取晶圆表面温度。本发明实现了上述三种检测功能的有效集成，适应性广，可用于等离子体环境中，能有效保证真空腔室的密封性。操作方便，不会造成晶圆变形和破损，测量精度高。