简介： 本发明公开了一种亚波长光子筛聚焦性能检测方法。该检测方法采用曝光法和扫描法相结合的混合检测系统，由激光光源、扩束准直系统、亚波长光子筛、已涂有光刻胶的硅片、真空泵、工件台、计算机控制系统组成；其中，工件台由PI公司的二维工件台和压电陶瓷共同组成，二维工件台用于粗调，压电陶瓷用于精调；工件台的运动方向及步进值由计算机控制系统的软件进行设置，其中X方向控制焦距的步进，Y方向控制聚焦光斑的移动。本发明的检测方法的测量精度不受CCD像素间距的影响，无需光学放大环节，不改变光斑在空间的实际能量分布。