简介： 本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其是公开了一种晶圆电性能检测设备，包括安装平台、设置在所述安装平台上的存储工位和检测工位，所述安装平台上还设有移载装置，所述移载装置将待测晶圆从所述存储工位转运至所述检测工位，并在检测完成后运回所述存储工位。本申请通过移载装置实现了晶圆在存储工位和检测工位之间的来回转移，检测工位自动检测晶圆的电性能参数，最终实现了晶圆的自动上下料、对准、检测和标记等工序，检测快速高效，便于筛选不良品，检测结果准确。