简介： 本申请提供了一种衍射光学元件的性能检测系统、方法和装置，该系统包括：光发射器件，光发射器件用于发射预定光至衍射光学元件中；接收设备，包括接收屏，接收屏位于光发射器件的一侧，预定光经过衍射光学元件衍射后在接收屏上形成多个光斑点；图像处理装置，位于接收屏的远离光发射器件的一侧，图像处理装置用于获取接收屏上的多个光斑点的图像，并根据图像计算衍射光学元件的衍射效率、衍射均匀性以及视场角中的至少一个。该系统根据获取的图像计算衍射光学元件的至少一项性能参数，从而实现对衍射光学元件的性能的检测。