简介： 本发明涉及一种真空气浮轴承、及其性能检测装置和检测方法，该气浮轴承包括至少一级抽气通道，采用本发明的多级抽气结构的真空气浮轴承，可以把提供给平面气浮轴承的气体抽排出真空腔体，将平面气浮轴承对真空度的影响减小到可接受的范围。该检测装置包括真空室；分别与真空室连接的多级抽气管路、抽真空管路、进气管路、氮气管路，真空室还连接一真空室真空计，该性能检测装置能够准确的评估该真空气浮轴承是否符合实际真空环境的使用需求，还可判断该真空气浮轴承工作时对真空环境的影响，此外还可以通过测试过程和测试结果指导真空气浮轴承的抽气系统的设计。