简介： 本发明涉及一种Si基缓冲层镀膜玻璃的光学参数检测方法，该缓冲层镀膜为SiCxOy，0＜x＜1，1＜y＜4，属于镀膜玻璃检测领域。该方法是在获得SiCxOy缓冲层镀膜玻璃椭圆偏振光谱的基础之上，引入三层膜层结构以及光学色散方程，通过迭代来回归实测椭偏光谱，最终获得SiCxOy镀膜玻璃的膜层结构及其每一层的光学参数，利用该方法实现镀膜玻璃光学性能的在线监控。本发明仅采用椭偏光学测试手段便可准确地获得薄膜的膜层结构及光学参数，对样品无损伤、测量耗时少、测试方法简便、对被测样品表面无特殊要求，十分适合于SiCxOy节能镀膜玻璃的性能检测及监控。