简介： 本发明涉及一种去除石英砂粉中羟基的方法，先将高纯石英物料送入高温真空炉中，升温至1000～1050℃，通入H₂或H₂与氮气和/或氦气的混合气体作为还原气体，进行高温还原处理，时间不少于2小时，然后开启真空系统，将温度升至1470～1500℃，真空度6.0×10^‑6～7.0×10^‑6pa，进行真空脱气处理，时间3～4小时，即得高纯度低羟基石英砂粉物料。该方法制备出的石英砂粉中羟基含量低于3ppm。