弹性波装置
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弹性波装置
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简介: 一种弹性波装置包括:压电基板,主要包含铌酸锂;叉指换能器电极,设置在压电基板上;以及电介质膜,设置在压电基板上,以便覆盖叉指换能器电极,主要包含氧化硅。弹性波装置使用瑞利波。叉指换能器电极包括多个主电极层(electrolyte)。多个主电极层包括一个或多个第一主电极层,所述一个或多个第一主电极层由针对弹性常数C11以及弹性常数C12而言C112/C12比大于氧化硅的C112/C12比的金属制成。在将所述叉指换能器电极整体的厚度是约100%时,所述一个或多个第一主电极层的厚度的总和是约55%或更多。
一种弹性波装置包括:压电基板,主要包含铌酸;叉指换能器电极,设置在压电基板上;以及电介质膜,设置在压电基板上,以便覆盖叉指换能器电极,主要包含氧化硅。弹性波装置使用瑞利波。叉指换能器电极包括多个主电极层(electrolyte)。多个主电极层包括一个或多个第一主电极层,所述一个或多个第一主电极层由针对弹性常数C11以及弹性常数C12而言C112/C12比大于氧化硅的C112/C12比的金属制成。在将所述叉指换能器电极整体的厚度是约100%时,所述一个或多个第一主电极层的厚度的总和是约55%或更多。
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