简介： 本发明涉及一种三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物的合成方法，所述三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物的合成方法，包括如下步骤：(1)将化合物1与MCl4进行反应，制备化合物2；(2)将化合物2与HNR1R2进行反应，制备化合物3；(3)将化合物3与化合物4进行反应，制备所述三(二烷胺基)环戊二烯基金属配合物。上述合成方法通过合理设置各反应步骤，能够有效提升合成的收率，且原料安全易得，避免使用丁基锂，既大大提高反应的安全系数，又避免在反应中引入杂质金属，便于产物的纯化，能够满足半导体产业对其前驱体源纯度的要求。同时操作简单，无需对中间体进行分离，路线绿色环保，适合工业化放大生产。