简介： 提供一种用于制造SiOx的方法。制造的SiOx(x＜1)在锂离子二次电池的制造中适合于用作阳极材料，该二次电池具有随着重复使用循环不会衰减的大容量，并在初始充放电中具有低的不可逆容量。用于制造SiOx(x＜1)的方法，包括步骤：在惰性气体存在下或降低的压力下将产生氧化硅气体的起始原料加热到1, 100至1, 600℃范围内的温度以产生氧化硅气体，同时在惰性气体存在下或降低的压力下将金属硅加热到1, 800至2, 400℃范围内的温度以产生硅气体，并在基体表面上沉淀氧化硅气体和金属硅气体的气体混合物。