简介： 本发明涉及一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法，属于新材料与纳米材料技术领域。本发明将金属催化硅腐蚀技术与原电池腐蚀技术有效结合，直接利用溶解于氢氟酸溶液中的氧气作为促进硅腐蚀的氧化剂，不需要添加其它氧化剂如双氧水、硝酸铁等。该技术简单易行，可以实现多种形貌硅微纳米结构材料的规模化制备。所制备的硅微纳米结构材料在太阳能电池、锂离子电池、热电器件、气敏元件以及活性表面增强拉曼光谱术衬底等领域具有广泛的应用前景。