简介： 本发明公开了一种氧化石墨烯的制备方法，区别于传统的用强氧化剂氧化石墨，然后超声分离出氧化石墨烯薄片的合成方法。本方法通过低功率的氧等离子体轰击并与石墨烯反应生成氧化石墨烯，通过拉曼表征可知得到氧化石墨烯具有与传统方法合成的氧化石墨烯的特征峰值，经XPS分析可知其具有环氧基，羰基，并含有少许空洞。在大气环境中其又吸收少许水份生成羟基，羧基等官能团。用该方法生成的氧化石墨烯，远远小于传统化学法生成的氧化石墨烯薄片的厚度，仅有1~5nm，而且本方法生成的氧化石墨烯的大小可达晶圆尺寸大小。该单层的氧化石墨烯能应用于高精度湿度传感器，高精度DNA测序，超大容量锂离子电池，超级电容器等。