简介： 本发明公开了一种通过薄膜沉积工艺形成电池的方法。将介孔碳材料沉积到导电基板的表面上，在该导电基板的表面上形成有高表面积的导电微结构。之后将多孔的介电分离层沉积到该介孔碳材料层上，以形成能量存储器件的半电池。介孔碳材料由CVD沉积的碳富勒烯“洋葱”和碳纳米管构成，且具有高孔隙度，所述高孔隙度能够保持有利于存储相当大量的电能的锂离子浓度。本发明的实施例还提供了电极的形成，所述电极具有在电池结构中有利的高表面积导电区域。在一种结构中，所述电极具有高表面积导电区域，所述高表面积导电区域包括多孔的树枝状结构，可以通过电镀、物理气相沉积、化学气相沉积、热溅射、和/或化学镀技术形成所述多孔的树枝状结构。