连续型真空镀膜生产设备及其生产方法
首页 企业 产品 技术 资讯 图库 视频 需求 会议 活动 产业
连续型真空镀膜生产设备及其生产方法
来源:北方有色网
访问:946
简介: 本发明提供了一种连续型真空镀膜生产设备及其生产方法,所述生产设备包括:多个依次呈直线型连接的镀膜工艺腔室、至少一套传输装置和至少一套控制装置;所述运输装置用于运输基材依次通过各个镀膜工艺腔室;控制装置用于按照预设控制程序控制所述传输装置在各个镀膜工艺腔室之间移动,以及按照制程控制所述多个镀膜工艺腔室对传输至其腔室内的基材进行镀膜。本实施例通过将各个镀膜工艺腔室设计为直线型结构连接,用于固态超薄锂电池、变色调光玻璃等产品的一次性真空成型,以及用于各个镀膜工艺腔室的模块化增/减/调换顺序的设计,因此本发明所提供的生产设备及其生产方法可取得较佳的功能薄膜产品一致性、重复性和稳定性。
本发明提供了一种连续型真空镀膜生产设备及其生产方法,所述生产设备包括:多个依次呈直线型连接的镀膜工艺腔室、至少一套传输装置和至少一套控制装置;所述运输装置用于运输基材依次通过各个镀膜工艺腔室;控制装置用于按照预设控制程序控制所述传输装置在各个镀膜工艺腔室之间移动,以及按照制程控制所述多个镀膜工艺腔室对传输至其腔室内的基材进行镀膜。本实施例通过将各个镀膜工艺腔室设计为直线型结构连接,用于固态超薄电池、变色调光玻璃等产品的一次性真空成型,以及用于各个镀膜工艺腔室的模块化增/减/调换顺序的设计,因此本发明所提供的生产设备及其生产方法可取得较佳的功能薄膜产品一致性、重复性和稳定性。
0
0
0
0
0
         
标签:加工技术
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
广州铭谦选矿设备有限公司宣传
相关技术
评论(0条)
200/200
牛津仪器科技(上海)有限公司宣传
发布
技术

顶部
北方有色网-互联网服务平台-关于我们
Copyright 2025 China-mcc.com All Rights Reserved
备案号:京ICP备11044340号-3
电信业务经营许可证编号:京B2-20242293
京公网安备 11010702002294号