简介： 本发明公开了一种基于推挽式光子晶体拉链腔的单片集成三轴光学加速度计，本发明在铌酸锂单晶薄膜上集成入射单元，用于产生入射光；相位调制反馈单元，用于对入射光波进行调制得到调制光波并进行调频反馈；X轴加速度敏感单元，用于探测X轴输入加速度的大小；Y轴加速度敏感单元，用于探测Y轴输入加速度的大小；Z轴加速度敏感单元，用于探测Z轴输入加速度的大小；采用光子晶体拉链腔结构，同时实现大带宽与高分辨率传感；采用推挽结构实现差分检测，抑制了旁轴加速度带来的干扰；采用微纳波导将光耦合进入微腔的方案，使加速度传感器更稳定，实现三轴加速度传感器的高精度、小型化与高集成。