简介： 本发明公开一种复合型石墨烯气凝胶刻蚀的制备装置及采用该装置的复合型石墨烯气凝胶刻蚀的生产工艺，属于石墨烯生产技术领域；所述刻蚀装置，是专为刻蚀复合型石墨烯气凝胶而设计制造，PET石墨烯气凝胶膜是专为超级电容电池或其它锂离子电池提供容液膜。PET石墨烯气凝胶膜的厚度是3.5‑600微米之间，根据超级电容电池器的特性选用不同直径的特选几种硅藻颗粒。硅藻在地球上大约有11000多种，我公司利用特种粘合剂将硅藻颗粒平植到PET膜上，再进行CVD法将碳元素沉集到PET膜上的硅藻颗粒所特有的结构中，经特殊排列控制技术后再经范德华利凝结成复合型石墨烯气凝胶，再进行刻蚀后而形成PET石墨烯气凝胶膜。