简介： 本发明公开了一种片上集成光波导结构及制备方法，其制备包括铌酸锂薄膜表面上镀金属铬膜、飞秒激光直写铬膜层、化学机械抛光、反应离子刻蚀以及铬膜腐蚀等步骤。本发明方法制备流程结合了化学机械抛光的侧壁及表面光洁度以及反应离子刻蚀的侧壁陡直度的优势，可大规模制备高度复杂且具有高精密结构的片上集成光子器件，包括光学调制器、波分复用器、微型激光器、滤波器，在光通信、量子计算、精密测量等领域具有重要的应用前景。