简介： 一种检查装置，用于检查移动通信领域中用作高 频滤波器的声表面波器件。该装置包含作为1次电子产生并投 射电子束的电子枪(1)、将电子束汇聚在衬底(9)上的聚光镜(2)、 检测由1次电子照射而从衬底(9)发射的2次电子的2次电子检 测器(4)、支持衬底(9)的衬底支持件(5)，以及进行接地并且能 接触金属膜(7)的接地机构(6)。接地机构(6)包含能与金属膜(7) 接触的接触部(12)、一端装有接触部(12)的臂部(47)和装在臂部 (47)上与接触部(12)相对的一端的旋转轴(48)。衬底(9)具有双 层结构，包括钽酸锂(LiTaO3)制成的圆形压电衬底(8)和 该衬底(8)上的铝金属膜(7)。