简介： 一种导电薄膜，包括层叠的M2O层，M导电层及R2O层，其中，M2O层的材料为氧化铜，氧化银或氧化铜银合金，M导电层的材料为金属铜，金属银或铜银合金，R2O层的材料为氧化锂，氧化钠，氧化钾，氧化铷或氧化铯。上述导电薄膜通过在M2O层的表面沉积导电层及低功函的R2O层制备多层导电薄膜，M2O层既作为缓冲层和匹配层，既为M层导电作好铺垫，保障叠层薄膜的导电性能，又与金属M层形成增透，提高薄膜的光学透过性能，而R2O层是低功函的材料，制备在叠层的表面使导电薄膜的功函数得到了显著的降低并具有较高的透光性。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。