简介： 本发明公开了一种利用非水解溶胶‑凝胶工艺在SiC基底上制备ZrSiO4薄膜的方法，该方法分别以正丙醇锆和正硅酸乙酯为锆源和硅源，正丙醇为溶剂，氟化锂为矿化剂，添加无水柠檬酸以及合适的表面活性剂制得镀膜用的ZrSiO4溶胶，再将溶胶加热预处理，采用浸渍‑提拉法并优选镀膜工艺参数在SiC基底上制得均匀致密的ZrSiO4薄膜。本发明具有工艺简单、成膜质量好等突出优点。