简介： 本发明公开了一种制备硅纳米结构材料的方法，属于新材料与纳米材料领域。本发明采用氢氟酸溶液中的溶解氧作为氧化剂，利用原电池腐蚀技术在硅片表面刻蚀硅纳米结构，可实现多种形貌硅纳米结构材料的可控制备。使用本发明制备的硅纳米结构材料是优异的太阳能电池和光催化材料、热电材料和锂离子电池负极材料，具有广泛的应用前景和实用价值。本发明方法工艺简单，成本低廉，便于大规模生产。