复合基板及使用其的弹性波器件
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复合基板及使用其的弹性波器件
来源:北方有色网
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简介: 本发明提供一种复合基板,其用于弹性表面波器件,耐热性优异。复合基板(10)具有:压电基板(12),其由钽酸锂(LT)形成,能够传播弹性波;支持基板(14),其在方位(111)面通过有机粘合层粘合于上述压电基板(12)的背面,其为热膨胀系数小于所述压电基板的硅制支持基板;粘合两基板(12)、(14)的粘合层(16)。
本发明提供一种复合基板,其用于弹性表面波器件,耐热性优异。复合基板(10)具有:压电基板(12),其由钽酸(LT)形成,能够传播弹性波;支持基板(14),其在方位(111)面通过有机粘合层粘合于上述压电基板(12)的背面,其为热膨胀系数小于所述压电基板的硅制支持基板;粘合两基板(12)、(14)的粘合层(16)。
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