光波导装置
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光波导装置
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简介: 光波导装置包括:基板,其上堆叠有中间层、铌酸锂薄膜LN层和缓冲层;光波导,其形成在薄膜LN层中;多个电极,其在光波导附近。中间层和缓冲层包含元素周期表的第3族至第18族的任一个中的金属元素的相同材料。
光波导装置包括:基板,其上堆叠有中间层、铌酸薄膜LN层和缓冲层;光波导,其形成在薄膜LN层中;多个电极,其在光波导附近。中间层和缓冲层包含元素周期表的第3族至第18族的任一个中的金属元素的相同材料。
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