简介： 本发明涉及一种Rb掺杂的石榴石型固态电解质的表面处理方法，采用具有曝光模式的原子层沉积系统在铷掺杂的石榴石型固态电解质LLZRO陶瓷片上直接镀一层对空气稳定的Li₃PO₄（LPO）薄膜，修饰在LLZRO陶瓷片的两侧。该表面处理方法利用原子沉积法镀一层LPO膜，有利于降低界面的阻抗恒流充放电过程中，抑制锂枝晶的生长，具有稳定的电化学性能。