简介:
一种弹性波装置,包括:压电体层;叉指换能器(IDT)电极,设置在所述压电体层上;高声速构件;以及低声速膜,设置在所述高声速构件与所述压电体层之间。所述压电体层包含钽酸锂,所述IDT电极包含多个金属层,所述多个金属层包括Al金属层和密度比Al高的金属层。在λ表示由所述IDT电极的电极指间距规定的波长,TLT(%)表示利用所述波长λ得到的所述压电体层的归一化膜厚,TELE(%)表示利用所述波长λ得到的所述IDT电极的Al换算归一化膜厚时,满足以下的式1:301.74667‑10.83029×TLT‑3.52155×TELE+0.10788×TLT2+0.01003×TELE2+0.03989×TLT×TELE≥0…式1。
一种弹性波装置,包括:压电体层;叉指换能器(IDT)电极,设置在所述压电体层上;高声速构件;以及低声速膜,设置在所述高声速构件与所述压电体层之间。所述压电体层包含钽酸
锂,所述IDT电极包含多个金属层,所述多个金属层包括Al金属层和密度比Al高的金属层。在λ表示由所述IDT电极的电极指间距规定的波长,T
LT(%)表示利用所述波长λ得到的所述压电体层的归一化膜厚,T
ELE(%)表示利用所述波长λ得到的所述IDT电极的Al换算归一化膜厚时,满足以下的式1:301.74667‑10.83029×T
LT‑3.52155×T
ELE+0.10788×T
LT2+0.01003×T
ELE2+0.03989×T
LT×T
ELE≥0…式1。