固态二次电池的制造装置及固态二次电池的制造方法
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固态二次电池的制造装置及固态二次电池的制造方法
来源:北方有色网
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简介:
本发明的课题之一是实现一种能够使固态二次电池的制造全自动化的制造装置。本发明的制造装置包括掩模对准室、与掩模对准室相连的第一传送室、与第一传送室相连的第二传送室、与第二传送室相连的第一成膜室、与第一传送室相连的第三传送室以及与第三传送室相连的第二成膜室,第一成膜室具有通过溅射法形成正极活性物质层或负极活性物质层的功能,第二成膜室具有进行锂的有机配合物与SiOx(0
本发明的课题之一是实现一种能够使固态二次电池的制造全自动化的制造装置。本发明的制造装置包括掩模对准室、与掩模对准室相连的第一传送室、与第一传送室相连的第二传送室、与第二传送室相连的第一成膜室、与第一传送室相连的第三传送室以及与第三传送室相连的第二成膜室,第一成膜室具有通过溅射法形成正极活性物质层或负极活性物质层的功能,第二成膜室具有进行
锂
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