简介： 一种基于LBO晶体的266nm全固态紫外激光器，包括用于对激光晶体的泵浦光源、光学耦合系统、1064nm谐振腔和腔外进行倍频、和频光路。1064nm谐振腔包括反射镜、分束镜、平凹镜、激光晶体、声光调制器和OC反射透镜；腔外倍频、和频光路包括第一LBO晶体，第二LBO晶体、第三LBO晶体、第一聚焦透镜，第二聚焦透镜、第三聚焦透镜和布鲁斯特角等腰棱镜。本发明的三硼酸锂266nm固体激光器通过谐振腔内生成1064nm基频光；利用LBO晶体进行腔外倍频以及和频，再利用色散原理分离和频产生的532nm、355nm和266nm激光，并输出266nm激光，光学模式和光斑质量较好。