弹性表面波装置
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弹性表面波装置
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简介: 本发明实现了一种具有优异特性且制造容易的弹性表面波装置。弹性表面波装置(10)具备由铌酸锂构成的压电基板(101)。在压电基板(101)的表面上配列形成有多个槽(110)。在各槽(110)中形成有由铜构成的IDT电极(102)。IDT电极(102)由被埋入槽(110)中的第一电极层(102i)与从压电基板(101)的表面突出的第二电极层(102o)构成。第一电极层(102i)的标准化电极膜厚Di在1.0%以上12.0%以下,第二电极层(102o)的标准化电极膜厚Do在1.0%以上9.0%以下。IDT电极(102)的整体的标准化电极膜厚D在6.0%以上13.0%以下。
本发明实现了一种具有优异特性且制造容易的弹性表面波装置。弹性表面波装置(10)具备由铌酸构成的压电基板(101)。在压电基板(101)的表面上配列形成有多个槽(110)。在各槽(110)中形成有由构成的IDT电极(102)。IDT电极(102)由被埋入槽(110)中的第一电极层(102i)与从压电基板(101)的表面突出的第二电极层(102o)构成。第一电极层(102i)的标准化电极膜厚Di在1.0%以上12.0%以下,第二电极层(102o)的标准化电极膜厚Do在1.0%以上9.0%以下。IDT电极(102)的整体的标准化电极膜厚D在6.0%以上13.0%以下。
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