简介： 本申请涉及低缺陷率电致变色装置的制造。先前的电致变色装置常常存在高缺陷率水平。这些缺陷可表现为损害电致变色转变的针孔或斑点。这一点对例如电致变色建筑玻璃等许多应用来说是无法接受的。缺陷率低的改良型电致变色装置可通过在单一整合沉积系统中沉积电致变色装置的某些分层组件来制造。当在例如玻璃窗等衬底上沉积和/或处理所述层时，所述衬底从未离开受控周围环境，例如具有极低粒子含量的低压受控氛围。所述层可使用物理气相沉积来沉积。