简介： 本实用新型涉及一种五氟化磷纯化装置。其技术方案是：脱氟化氢塔的中段通过压缩机连接到含杂质的中间产物缓冲罐，脱氟化氢塔的底部通过管线连接到氟化氢冷却器的管程进口，管程出口通过管线连接到氟化氢中间罐；脱氟化氢塔的顶部通过管线连接到五氟化磷预热器的管程进口，管程出口通过管线连接五氟化磷精馏后储罐，五氟化磷精馏后储罐的出口通过管线连接到六氟磷酸锂合成釜。有益效果是：本实用新型解决了五氟化磷合成釜合成的中间产物组分复杂，无法直接用于六氟磷酸锂合成的问题，同时将多余氟化氢精馏纯化后回收利用，降低了不必要的物料损耗，降低了生产成本，保障了产品的质量和稳定性。