声表面波谐振结构滤波器
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声表面波谐振结构滤波器
来源:北方有色网
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简介:
本实用新型涉及一种声表面波谐振结构滤波器,在钽酸锂晶体或铌酸锂晶体的压电晶片表面进行隔离还原处理,在还原区上形成谐振器单元电极。利用还原的压电晶片表面消除压电晶体热释电效应对谐振器单元周期电极线条的破坏,同时,防止了晶片全表面还原处理造成的谐振器单元间电隔离的减弱。
本实用新型涉及一种声表面波谐振结构滤波器,在钽酸
锂
晶体或铌酸锂晶体的压电晶片表面进行隔离还原处理,在还原区上形成谐振器单元电极。利用还原的压电晶片表面消除压电晶体热释电效应对谐振器单元周期电极线条的破坏,同时,防止了晶片全表面还原处理造成的谐振器单元间电隔离的减弱。
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