简介： 本发明提供了一种多晶硅生产过程中余热利用的方法,包括:将还原炉、氢化炉内反应余热通过高温热水带出,分别分配给精馏热水系统和冷冻站热水系统,向其提供热量;经换热后的高温热水回流至还原炉、氢化炉。本发明提供的多晶硅生产过程中余热利用的方法,是将还原炉、氢化炉产生的余热由高温热水带出并运用到精馏系统和冷冻站系统中,精馏系统中的再沸器和冷冻站的溴化锂机组都可采用高温热水作为加热介质提供热源。该方法实现了还原炉、氢化炉的反应余热的分级综合利用,将精馏热水系统工况要求和还原炉、氢化炉热水系统工况有机结合,充分利用还原炉、氢化炉的反应余热,降低了生产成本。