简介： 本发明公开了半导体级四(甲乙氨基)锆的制备方法，在惰性气氛保护下，在反应器中加入甲乙胺和烃类溶剂，然后向体系中加入有机锂化合物，制得甲乙胺基锂；向体系中加入四氯化锆；反应结束后进行过滤以及蒸馏，得到四(甲乙氨基)锆；四(甲乙氨基)锆经过提纯、吸附和过滤，得到高纯半导体级四(甲乙氨基)锆产品。不需要任何醚类溶剂，只需要单一的烃类溶剂即可，降低了合成成本和反应的毒性，具有更好的操作性，其产率较高，易于规模化的生产；经过纯化、吸附、过滤等步骤，最终使产品的纯度、颗粒度均较好满足半导体行业的产品要求。