简介： 本发明公开了一种三倍频紫外激光器，上述三倍频紫外激光器包括光连接的种子源、激光放大器及三倍频模块，种子源为增益开关皮秒种子源；激光放大器为光连接的多级放大器；三倍频模块在光路上依次包括聚焦透镜、二倍频晶体及其加热炉、三倍频晶体及其加热炉、紫外光分离器和准直器，其中聚焦透镜、二倍频晶体及其加热炉、三倍频晶体及其加热炉共轴设置，二倍频晶体为一类相位匹配的三硼酸锂(LBO)晶体，三倍频晶体为二类相位匹配的三硼酸锂(LBO)晶体。按照本发明实现的三倍频紫外激光器，产生的种子光重复频率可调，脉宽可调，且为皮秒量级，并且是单模、线偏振光，经放大和三倍频后，紫外激光的特征与种子光一致，功率可达35W，效率高达50％。