简介： 本发明公开了一种三（二甲胺基）硅烷的制备方法，包括如下步骤：在惰性气氛保护下，在反应器中加入二甲胺和烃类溶剂，然后向体系中加入有机锂化合物，制得二甲胺的锂盐；向体系中加入三氯硅烷；反应结束后进行蒸馏，得到所述三（二甲胺基）硅烷。本发明与现有合成方法相比具有以下显著优点：反应以简单易得的原料，操作简单且降低了成本；使用简单的烃类作为溶剂大大降低了体系的毒性和污染；大大简化后处理操作，减少过多后处理过程中的损失；反应过程中的副产物相对较少，产率较高。