可实现自发准相位匹配频率转换的跑道型微环腔
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可实现自发准相位匹配频率转换的跑道型微环腔
来源:北方有色网
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简介: 本发明公开了一种可实现自发准相位匹配频率转换的跑道型微环腔,涉及光学技术领域,该跑道型微环腔包括由上至下依次设置的空气覆盖层、X切铌酸锂薄膜层、二氧化硅绝缘层和硅衬底层,该跑道型微环腔由X切铌酸锂薄膜层刻蚀而成,包括两个直波导,两个半圆环波导和滑轮型耦合波导,两个直波导设置完全相同,两个半圆环波导设置为以铌酸锂晶体的Y轴镜像对称。本发明提供的跑道型微环腔可在不改变晶体属性的前提下实现准相位匹配,相较于传统外加电场极化的方法加工流程大幅度简化,且可用于提升多种波段下的二阶非线性频率转换效率,对制备集成量子光学芯片中的量子光源具有一定的意义。
本发明公开了一种可实现自发准相位匹配频率转换的跑道型微环腔,涉及光学技术领域,该跑道型微环腔包括由上至下依次设置的空气覆盖层、X切铌酸薄膜层、二氧化硅绝缘层和硅衬底层,该跑道型微环腔由X切铌酸锂薄膜层刻蚀而成,包括两个直波导,两个半圆环波导和滑轮型耦合波导,两个直波导设置完全相同,两个半圆环波导设置为以铌酸锂晶体的Y轴镜像对称。本发明提供的跑道型微环腔可在不改变晶体属性的前提下实现准相位匹配,相较于传统外加电场极化的方法加工流程大幅度简化,且可用于提升多种波段下的二阶非线性频率转换效率,对制备集成量子光学芯片中的量子光源具有一定的意义。
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