简介： 本发明涉及一种强稳定光限幅五元聚元素纳米颗粒及其制备方法。其技术方案是：强稳定光限幅五元聚元素纳米颗粒的组分表达式为CuXNiFeZn；其中：X表示钴、钼、铝和银中的一种。所述制备方法是：先按照铜∶X∶镍∶铁∶锌的质量比为63.5∶M_X∶58.7∶55.8∶65.4配料，经预处理后再用冶金法制得五元高熵合金材料，即为靶材。将靶材和石英玻璃/铌酸锂衬底置于离子注入机对应的放电室和靶室内，调整加速电压，将靶材注入到石英玻璃/铌酸锂衬底，在保护性气氛中退火处理，制得强稳定光限幅五元聚元素纳米颗粒。本发明具有工艺简单、操作简便和合成效率高的特点，所制制品纯度高和稳定性强。