简介： 本发明公开了属于MEMS技术领域的一种混合式微型超级电容器及其制造方法。该微型超级电容器由支撑体、正极、隔离体、负极以及铝封盖构成,呈卷绕结构,在正极、隔离体、负极结构中浸渍高氯酸锂有机电解液;正极包含活性碳储能材料、乙炔黑导电材料以及聚偏氟乙烯粘合剂,采用丝网印刷方法制备;负极包含钛酸锂储能材料、乙炔黑以及聚偏氟乙烯粘合剂,采用丝网印刷方法制备。隔离体为为聚偏氟乙烯-六氟丙烯多孔结构的共聚物,采用甩涂方法制备。在正极及负极端采用磁控溅射方法制备铝封盖,位于同时作为电极端子起到集流体的作用。铝封盖与电极的大面积接触可有效降低微型超级电容器电阻,进而能够提高微型超级电容器储能特性;本发明能够提高微型超级电容器电压至3.6V。