简介： 本发明提供了一种Li₂Fe_xSiO₄正极薄膜的制备方法及应用。其是以Fe补偿的Li₂FeSiO₄材料作为靶材，采用射频磁控溅射的方法沉积制备Li₂Fe_xSiO₄薄膜，其中0.5≤x≤1.1；然后以Li₂Fe_xSiO₄薄膜为正极依次制备固态电解质薄膜、负极薄膜、负极集流体薄膜，封装后得到多层结构的全固态薄膜锂离子电池。该多层膜结构的全固态锂离子具有高结构稳定性和界面特性、较高的放电比容量和循环特性。