简介： 本发明公开了一种用于马赫曾德光调制器的晶片结构，包括钛扩散铌酸锂条形波导、铌酸锂层、二氧化硅缓冲层、共面行波电极、硅基底和下电极层，钛扩散铌酸锂条形波导安装在铌酸锂层的下表面中央，硅基底的上表面覆盖共面行波电极，共面行波电极共三个且其上表面覆盖一层二氧化硅缓冲层，二氧化硅缓冲层共两层且其两层间安装有铌酸锂层。