简介： 本发明公开了一种相位调制器及谐振腔异质集成芯片。在铌酸锂薄膜基片上设置氮化硅调制谐振模块；氮化硅调制谐振模块包括铌酸锂波导相位调制单元、层间耦合单元和氮化硅谐振单元；铌酸锂波导相位调制单元的输入端接收激光器输出的光，铌酸锂波导相位调制单元对输入的光进行调制得到调制光；层间耦合单元实现调制光从铌酸锂波导相位调制单元向氮化硅谐振单元进行过渡；调制光经层间耦合单元耦合至氮化硅谐振单元；氮化硅谐振单元对耦合后的光进行谐振，然后由氮化硅谐振单元的输出端将谐振后的光输出至探测器。采用本发明的芯片，将铌酸锂相位调制器与谐振腔集成在一个芯片上，能够减小体积、降低功耗和成本，提高谐振式集成光学陀螺系统的稳定性。